石英舟
分(fen)批(pi)式燒(shao)制爐應用
如CVD、外延沉積及(ji)其他高溫處理工藝等提供石(shi)英產品。
產品包括:工藝管(guan)、內管(guan),舟(zhou),保(bao)溫桶,噴嘴、鐘罩(zhao)及其他各種復(fu)雜部件
單片式(shi)應用
常(chang)見的單(dan)片式應用(yong)提(ti)供石英制品。
產(chan)品包括:石英(ying)環、石英(ying)窗、氣體分流板、石英(ying)噴嘴、半罩、CVD石英(ying)襯管(guan)、RTP/RTO、EPI和石英蝕刻元件等。