石英舟
分批(pi)式燒制(zhi)爐應用
如CVD、外延沉積(ji)及(ji)其他高溫處理工藝等提(ti)供(gong)石英產品。
產品包括:工藝管、內管,舟,保溫桶,噴嘴、鐘(zhong)罩及其他各(ge)種復(fu)雜部(bu)件
單片式應(ying)用
常(chang)見的單片式(shi)應用(yong)提供石英(ying)制品。
產品包括:石英環、石英窗、氣體分流板、石英噴(pen)嘴、半罩(zhao)、CVD石英(ying)襯管、RTP/RTO、EPI和石(shi)英蝕刻元件(jian)等。