石英舟
分批式燒(shao)制爐應(ying)用(yong)
如(ru)CVD、外延沉積及其他(ta)高溫處(chu)理工藝等提供石(shi)英產品。
產品包括(kuo)：工(gong)藝(yi)管、內管，舟(zhou)，保溫桶，噴嘴、鐘罩(zhao)及其他各種復雜部件
單片式應(ying)用
常見的(de)單片式(shi)應(ying)用提(ti)供石英(ying)制品(pin)。
產(chan)品包括：石英(ying)環、石英(ying)窗(chuang)、氣體分流板(ban)、石英(ying)噴嘴、半罩、CVD石英(ying)襯管、RTP/RTO、EPI和石(shi)英蝕刻元件等。
