石英舟
分批式燒制爐(lu)應(ying)用
如CVD、外(wai)延沉積及其他高溫處理工藝等提供石英產品。
產(chan)品包括:工藝管、內管,舟,保(bao)溫桶,噴嘴、鐘罩及其(qi)他各種復雜部(bu)件
單片式(shi)應(ying)用
常見的單片(pian)式應(ying)用(yong)提供石英制品。
產品包括(kuo):石英環、石英窗、氣體(ti)分流板、石英噴嘴、半罩(zhao)、CVD石英(ying)襯(chen)管、RTP/RTO、EPI和石(shi)英蝕刻元件等。