石英舟
分批式燒(shao)制爐應用
如CVD、外延沉積及其他高溫處(chu)理工藝等(deng)提供石英產品。
產品包括(kuo):工(gong)藝(yi)管(guan)、內管(guan),舟,保溫桶,噴嘴、鐘罩及其他各種(zhong)復雜部件
單(dan)片式應用
常見的單片式應用提(ti)供石英制(zhi)品。
產(chan)品包括:石英環、石英窗、氣(qi)體(ti)分流板、石英噴嘴(zui)、半罩(zhao)、CVD石英襯管(guan)、RTP/RTO、EPI和石英蝕刻元(yuan)件等。