石英舟
分批式燒制爐應用
如CVD、外延(yan)沉積及其他高溫處(chu)理工藝等提供石英(ying)產品。
產品包括:工藝管、內管,舟,保溫桶,噴(pen)嘴、鐘罩(zhao)及其他各種(zhong)復雜(za)部件
單片式(shi)應用
常見的單片式應用提供(gong)石英制品。
產品(pin)包括(kuo):石(shi)英(ying)環、石(shi)英(ying)窗、氣體分流(liu)板、石(shi)英(ying)噴嘴、半(ban)罩、CVD石英(ying)襯管、RTP/RTO、EPI和石英蝕刻元(yuan)件等(deng)。