石英舟
分(fen)批式燒(shao)制(zhi)爐(lu)應用
如CVD、外延沉(chen)積及其他高溫處理工藝等提供石英產品(pin)。
產品包括:工(gong)藝(yi)管、內(nei)管,舟,保溫桶,噴嘴(zui)、鐘(zhong)罩及其他各種復雜部件
單片式應用
常(chang)見的單片式應用提供石(shi)英制(zhi)品。
產品(pin)包括:石英(ying)環(huan)、石英(ying)窗(chuang)、氣體(ti)(ti)分(fen)流板(ban)、石英(ying)噴嘴、半罩、CVD石英襯管、RTP/RTO、EPI和(he)石英蝕刻元件等。