石英舟
分批式燒制爐應用
如CVD、外延沉(chen)積及其(qi)他高溫處理工(gong)藝等提(ti)供石英(ying)產(chan)品。
產品包括(kuo):工藝管、內管,舟(zhou),保溫桶,噴嘴、鐘罩及其他各種復雜部件
單片式(shi)應(ying)用(yong)
常見的單片式(shi)應用提(ti)供石英制(zhi)品。
產(chan)品包括:石英(ying)環(huan)、石英(ying)窗(chuang)、氣體分流板、石英(ying)噴嘴、半罩、CVD石英(ying)襯(chen)管、RTP/RTO、EPI和(he)石英(ying)蝕刻元(yuan)件等。