石英舟
分(fen)批式燒制爐(lu)應用
如CVD、外延(yan)沉積(ji)及(ji)其(qi)他高溫(wen)處(chu)理工藝等提供(gong)石英產品。
產品包括:工藝管(guan)(guan)、內管(guan)(guan),舟(zhou),保溫(wen)桶,噴嘴、鐘罩及其他各種(zhong)復雜部件
單片(pian)式(shi)應用
常見的單片式應用提供石英制品。
產品包(bao)括:石(shi)英環、石(shi)英窗、氣體(ti)分流(liu)板、石(shi)英噴嘴、半罩、CVD石英襯(chen)管、RTP/RTO、EPI和石英蝕(shi)刻元件等。